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白光干涉显微镜（White light Interferenc microscope），是使用光干涉原理来展示物件的内部或表面的显微镜。通过纳米垂直扫描器与干涉...
白光干涉显微镜（White light Interferenc microscope），是使用光干涉原理来展示物件的内部或表面的显微镜。通过纳米垂直扫描器与干涉物镜使分辨率达到 0.1nm，因此应用于3D高精度量测。白光干涉显微镜在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其加工精度要求。