导读 大家好,我是小典,我来为大家解答以上问题。化学气相沉积法的优缺点,化学气相沉积法很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、化学气...
大家好,我是小典,我来为大家解答以上问题。化学气相沉积法的优缺点,化学气相沉积法很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、化学气相沉积法,包括低压化学气相沉积(LPCVD)和等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺。
2、 化学气相沉积主要是以末种化合物,为反应气体,在一定的保护气氛下反应生成单质原子并沉积在加热的衬底上,衬底材料一般选用次单质或其稳定化合物等。
本文到此讲解完毕了,希望对大家有帮助。